产品
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技术原理
根据宽场显微成像原理，利用结构光照明调制被物体的表面信息，除去离焦信号干扰，通过垂直轴向扫描得到微观表面3D形貌。同时适用于特征复杂表面（如散射表面）和光滑表面，根据应用场景，可灵活调整Z轴精度覆盖1nm至1μm区间。
新一代 颠覆性 全自主 3D显微成像技术 | |
 | ●自研并行计算架构，融合人工智能
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原理图 | |
产品特点
● 新一代 全自主 桌面式 共聚焦3D显微镜/轮廓仪
● 面扫描、跨尺度、真彩色、快速成像
跨 尺 度：可兼容高精度模式（最高1nm）和大量程（30mm）、亚微米精度模式 。 跨 材 质 ：可适应高吸光材质、高反光材质、透明材质 。 跨 结 构 ：可适应光滑表面、粗糙表面、深孔、沟槽、凸台等各种复杂结构。 多 功 能：① 测量模式：3D测量、共焦、变焦、2D测量； ② 观察模式：高精度超景深融合3D真彩图、2D彩图、明场、暗场 。 低成本维护：LED光源，稳定可靠、长寿命。 开 放 性：支持原始真彩图及3D点云导出，便于AI分析。 | |
| 面共焦3D显微镜产品图 |
产品介绍
跨尺度应用 |  | 1台面共焦3D显微镜 = 1台激光共聚焦3D显微镜+1台超景深3D显微镜 | ||
传统技术产品 |
| 应用类型 | ||
超景深显微镜 激光共聚焦3D显微镜 白光干涉仪 |  |  | 缺陷观察分析 关键尺寸量测 表面轮廓分析 粗糙度检测 透明膜厚检测 ...... | |
产品型号 | AMS 100 | AMS 10 | AMS1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
扫描原理 | 白光区域共聚焦 | 白光区域共聚焦 | 白光区域共聚焦 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
轴向扫描装置 | 电机 | 压电陶瓷+电机 | 压电陶瓷（高精度）+电机 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
量测Z精度μm | 0.1 | 0.01（PZT）、0.1（Motor） | 0.001（PZT）、0.1（Motor） | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
量程Z μm① | 30000 | 500（PZT）、30000（Motor） | 400（PZT）、30000（Motor） | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
XY位移台 mm② | 100 x 100 | 100 x 100 | 100 x 100 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
仪器尺寸（高x 宽x 深）mm | 780 x 380 x 410 | 780 x 380 x 410 | 780 x 380 x 410 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
仪器重量 kg | 55 | 55 | 55 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
选配物镜③ |
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注 | ①受限物镜工作距离，量程最大30mm；电机行程100mm； ②可按要求客制化，支持尺寸匹配、如12寸晶圆； ③不标配物镜；根据使用需要，选配物镜； ④完整显微镜包括测量头、物镜、底座、控制器及显示器、测量软件、量块，其中物镜与量块按需选配。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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