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AM系列面共焦3D显微传感器


· 新一代全自主面共焦3D显微传感器/测头
· 面扫描、跨尺度、真彩色、快速成像

产品特点

  ●新一代 全自主 共聚焦3D显微传感器/测头

  ●面扫描、跨尺度、真彩色、快速成像

  高   效    率:面阵成像,速度更快。

  高 灵 活 性:根据应用场景,可灵活配置量程、精度、速度。

  高 适 应 性:可适应光滑表面、复杂表面、高反光材质、透明材质。

  易 于 集 成:开放性SDK,小体积。

  低成本维护:可远程调参,可远程更新SDK,LED光源稳定可靠寿命长 

       多模态组合:可同步输出3D点云、2D彩图、2D景深融合图,3D测量、

                             2D测量、AI检测,一机搞定。 

展示图

 

产品介绍 

跨尺度、跨平台适用

桌面式3D显微镜、非接触式粗糙度仪、台式3D轮廓仪、自动化3D量检测设备,3D AOI

传统技术产品

 

应用类型

超景深显微镜 

激光共聚焦3D显微镜 

白光干涉仪

缺陷检测 

关键尺寸量测 

表面轮廓分析 

粗糙度检测 

透明膜厚检测

 ......

 

产品型号

AM 100 大量程

AM 10 高精度

AM 1 超高精度

扫描原理

白光区域共聚焦

白光区域共聚焦

白光区域共聚焦

轴向扫描装置

电机

压电陶瓷(高精度)+电机 

压电陶瓷(高精度)+电机

量测光源

LED

LED

LED

量测Z精度 μm

0.1

0.01(PZT)、0.1(Motor)

0.001(PZT)、0.1(Motor)

量程Z μm

30000

500(PZT)、30000(Motor)

400(PZT)、30000(Motor)

典型成像时间 s

3(Motor)~ 7(PZT)

3(Motor)~ 7(PZT)

传感器尺寸(高x宽x深) mm

520 x 250 x 190

520 x 250 x 120

520 x 250 x 120

传感器重量 kg

15

9

9

传感器输出值

3D点云、2D彩图

3D点云、2D彩图

3D点云、2D彩图

推荐物镜

10X

20X

50X

选配物镜

显微物镜倍率

2X

5X

10X

20X

50X

100X

150X

数值孔径NA

0.055

0.14

0.28

0.42

0.8

0.9

0.9

工作距离mm

34

36.5

34

20

1

1

1.5

量测XY视野mm

5.60×3.50

2.24×1.40

1.12×0.70

0.56×0.35

0.22×0.14

0.11×0.07

0.07×0.04

量测XY点间隔μm

2.930

1.172

0.586

0.293

0.117

0.059

0.039

①受限物镜工作距离,量程最大30mm;电机行程100mm;

②按100个轴向位置计算;

③AM10/1传感器重量未包含Z电机,电机重量6kg;

④传感器不标配物镜;根据使用需要,选配物镜;

⑤AM10与AM1不标配Z电机;根据使用需要,可选配100mm电机。

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