产品特点
●新一代全自主面共焦3D显微传感器/测头
●面扫描、跨尺度、真彩色、快速成像
| 高效率:面阵成像,速度更快 高灵活性:根据应用场景,可灵活配置量程、精度、速度 高适应性:可适应光滑表面、复杂表面、高反光材质、透明材质 易于集成:开放性SDK,小体积 低成本维护:可远程调参,可远程更新SDK,LED光源稳定可靠寿命长 | ||
展示图 |
产品介绍
跨尺度、跨平台适用 | 桌面式3D显微镜、非接触式粗糙度仪、台式3D轮廓仪、自动化3D量检测设备,3D AOI | |||
传统技术产品 |
| 应用类型 | ||
超景深显微镜 数码3D显微镜 激光共聚焦3D显微镜 白光干涉仪 | 缺陷检测 关键尺寸量测 表面轮廓分析 粗糙度检测 透明膜厚检测 ... |
产品型号 | AM 100 大量程 | AM 10 高精度 | AM 1 超高精度 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
扫描原理 | 白光共聚焦 | 白光共聚焦 | 白光共聚焦 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
轴向扫描装置 | 电机 | 压电陶瓷+电机 | 压电陶瓷(高精度)+电机 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
量测光源 | LED | LED | LED | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
量测Z精度 μm | 0.1 | 0.01(PZT)、0.1(Motor) | 0.001(PZT)、0.1(Motor) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
量程Z μm① | 30000 | 500(PZT)、30000(Motor) | 400(PZT)、30000(Motor) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
典型成像时间 s② | 3 | 3(Motor)~ 7(PZT) | 3(Motor)~ 7(PZT) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
传感器尺寸(高x宽x深) mm | 490 x 200 x 185 | 510 x 200 x 185 | 510 x 200 x 185 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
传感器重量 kg③ | 10 | 10 | 10 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
传感器输出值 | 3D点云、2D彩图 | 3D点云、2D彩图 | 3D点云、2D彩图 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
推荐物镜④ | 10X | 20X | 50X | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
选配物镜④ |
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注 | ①受限物镜工作距离,量程最大30mm;电机行程100mm; ②按100个轴向位置计算; ③传感器重量未包含Z电机,电机重量6kg; ④传感器不标配物镜;根据使用需要,选配物镜 ⑤AM10与AM1不标配Z电机;根据使用需要,可选配100mm电机 |