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半导体晶圆探针针痕量测——楚光三维应用案例分享
楚光三维面共焦3D显微镜/传感器：
· 面扫描、跨尺度、真彩色、快速成像
· 3s成像，1nm-1μm精度，30mm单视野大量程
· 跨尺度、跨材质、跨结构兼容
· 适应光滑/复杂表面，高反光/透明材质
· 3D点云易导出，AI 赋能更敏捷
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